EddyCus lab 2020 Sr–非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測(cè)試儀
這EddyCus lab 2020 Sr
是一種非接觸單點(diǎn)薄層電阻測(cè)量系統(tǒng)。該設(shè)備包含一組渦流傳感器，可將微弱電流感應(yīng)到導(dǎo)電膜和材料中。樣品中的感應(yīng)電流產(chǎn)生電磁場(chǎng)，該電磁場(chǎng)與測(cè)量對(duì)象的薄層電阻相關(guān)。該技術(shù)與表面特征或形態(tài)無(wú)關(guān)。此外，它不需要任何種類(lèi)的充分樣品接觸或制備，例如從2點(diǎn)或4點(diǎn)探針測(cè)試（2PP，4PP）或霍爾效應(yīng)或范德堡測(cè)量中已知的。它既不需要設(shè)置測(cè)試結(jié)構(gòu)，也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響。此外，測(cè)量不會(huì)對(duì)被測(cè)薄膜產(chǎn)生物理影響。由于存在機(jī)械磨損，渦流儀器的使用壽命較長(zhǎng)。它與接觸質(zhì)量無(wú)關(guān)，速度快，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和高精度，有利于R&D和測(cè)試實(shí)驗(yàn)室各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。EddyCus工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導(dǎo)出功能的SURAGUS軟件驅(qū)動(dòng)，也可以由SURAGUS軟件開(kāi)發(fā)套件驅(qū)動(dòng)的客戶(hù)軟件驅(qū)動(dòng)。
更新時(shí)間：2024-04-02 
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