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更新時(shí)間：2023-11-18 
瀏覽次數(shù)：547用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。
適用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可以使用 EtherCAT 通信進(jìn)行控制，該通信用于加速半導(dǎo)體制造設(shè)備的傳輸系統(tǒng)。
標(biāo)準(zhǔn)配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和琳得科的環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器，還可以添加與液化氣體兼容等選項(xiàng)。
精度±1%SP
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度保證傳感器
EtherCAT通訊
微流FS
兼容液化氣
大范圍
越來(lái)越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了 EtherCAT 通信（數(shù)字 I/F），用于高速控制機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)。EtherCAT通信有65,536個(gè)節(jié)點(diǎn)，所有MFC測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)元件都可以集成到EtherCAT通信中。
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